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掩膜版存储库

实现Mask自动取放、搬送与密集存储,采用低接触面积和防静电设计。

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产品介绍

  • 全自动Mask(掩膜版)取放及搬送,实现Mask密集化存储
  • Mask低接触面积及防静电技术
  • 洁净等级 Class10@0.1μm

技术参数

掩膜版存储库产品规格
G6彩膜掩膜版存储库
负载 60kg
G8阵列掩膜版存储库
负载 110kg

以上为产品选型资料,实际规格以项目技术协议为准。