TFT-LCD / AMOLED Stocker
- 对接AGV、MGV、OHCV
- 洁净等级 Class 10@0.1μm
- 系统智能可视化
行业方案
面向显示面板与半导体制造，连接搬送、存储与工艺设备。
显示面板搬送与存储
面板AMHS主要由Stocker、OHCV、Lift、Loader/Unloader及少量OHT构成。Stocker既承担周转、储存与暂存，也通过CIM与MCS/MES及相关设备完成任务交握。
上层系统MES / MCS
↓中枢Stocker + CIM
↔同层搬送OHCV / Conveyor
↕跨层与机台Lift / Loader / Unloader
G4.5—G8.5洁净型堆垛机
- 最大行走速度 3.5m/s
- 最大提升速度 1m/s
- 行走轮 + 同步带 / 直线导轨
液晶面板Tray盘堆垛机
- 最高行走速度 210m/min
- 最高梁下高度 20m
- 30 / 60 / 100kg多负载规格
掩膜版存储库
- 自动取放与密集化存储
- 低接触面积与防静电
- G6彩膜Mask负载60kg
高空搬送系统
- 连接Stocker与制程节点
- 释放地面工艺与人员通道
- 支持CV Roller等结构
Stocker CIM调度
- 储位与出入库管理
- 任务优先级与多模式执行
- 状态监测、报警与数据上报
半导体载具搬送与存储
半导体AMHS通常由OHT、Stocker、Lift、Tower Lift与Conveyor构成。我们以Stocker、Lift、Crane、走行轮和精密部件，与集成商及设备企业形成互补协作。
01
载具覆盖
FOUP、SMIF Pod、Open Cassette、Mask及封测成品料箱。
02
关键接口
SECS/GEM、E84、RFID及MCS/MES/CIM系统衔接。
03
场景重点
高密度存储、氮气净化、跨层搬送、低振动和连续运行。
项目咨询
请说明行业、载具、现有系统、希望盟萤承担的环节与计划节点。