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OC Stocker

面向半导体大硅片行业,完成Open Cassette载具的自动化搬运与存储。

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产品介绍

  • 先进的运动控制系统,走行轴及升降轴全闭环控制,实现精准定位
  • 非接触供电系统,无灰尘粒子产生
  • 高性能聚氨酯轮胎,低噪音、低发尘、长寿命
  • 磁密封伸缩机械手臂,杜绝摩擦,杜绝产生灰尘粒子

技术参数

OC Stocker产品规格
半导体制程大硅片领域存储用容器。
供电方式滑触线、非接触供电(可选择)
最大负载20kg
驱动方式伺服电机
行走运动行走轮+直线导轨
行走速度(max)2m/s
行走加速度(max)0.98m/s²
提升运动同步带+直线导轨
提升速度(max)1.3m/s
提升加速度(max)0.98m/s²
通讯方式光通讯
回转运动3枢轴+谐波驱动
回转速度(max)240°/s
回转加速度(max)0.18m/s²
FORK伸缩运动3枢轴+谐波驱动
FORK伸缩速度(max)0.8m/s
FORK伸缩加速度(max)0.2m/s²
货叉重复精度±0.5mm

以上为产品选型资料,实际规格以项目技术协议为准。