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EFEM

EFEM

晶圆前端传输设备，为各类制程设备提供晶圆上下料配套。

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产品介绍

根据产能与工艺要求，选择不同 Port 数量框架，以及不同设备之间的连接方式
成熟稳定的控制软件，支持 SECS/GEM、E84、RFID 等标准协议和技术，支持主/从对接模式
SEMI-S2认证，高可靠性和高可用性
可根据用户的实际需求进行非标定制

以上为产品选型资料，实际规格以项目技术协议为准。