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N₂ Purge Stocker

N₂ Purge Stocker

面向FOUP充氮存储需求，每组储位可独立控制充氮气。

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产品介绍

半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器。
每组储位都可独立控制充氮气
实现自动充放氮气
先进的运动控制系统，走行轴及升降轴全闭环控制，实现FOUP精准定位
洁净等级Class100

以上为产品选型资料，实际规格以项目技术协议为准。