产品介绍
- Panel FOUP
技术参数
| 510晶圆载具。 | |
| 供电方式 | 滑触线、非接触供电（可选择） |
| 最大负载 | 70kg |
| 驱动方式 | 伺服电机 |
| 行走运动 | 走行轮 |
| 行走速度（max） | 2m/s |
| 行走加速度（max） | 0.98m/s² |
| 提升运动 | 同步带+直线导轨 |
| 提升速度（max） | 1.3m/s |
| 提升加速度（max） | 0.98m/s² |
| 通讯方式 | 光通讯 |
| FORK伸缩运动 | 3枢轴+谐波驱动 |
| FORK Time（max） | 7.5sec |
| 货叉重复精度 | ±0.5mm |
以上为产品选型资料，实际规格以项目技术协议为准。
